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产品名称: SAM 300 Twin 双探头扫描系统
上市日期:2018-01-03
  • SAM 300 Twin 双探头扫描系统 SAM 300 Twin 双探头扫描系统
  • 产品参数
  • 适用范围
  • 说明
  • 产品描述
  • 参数配置

主要技术参数:

一  机械部分:

1. X/Y 两轴均为超高速、线性马达驱动系统, X / Y 轴内置磁力机构;

2. 配有防震系统与惯性平衡机构,隔绝在高速扫描过程中振动影响,确保图像不会因快速扫描而失真;

3. Z 轴行程大于100mm

4. Z轴自动对焦,不仅可以自动对焦到样品表面,而且同时还可对样品内部任意界面自动对焦; 逐层自动对焦可设定步距,Z-轴探头按步距从样品底部开始向上逐层扫描;

5. 双探头可同时扫描,每个探头扫描范围:最小0.20 mm  × 0.20 mm ;最大 > 320 mm × 320 mm;可自定义扫描区域,可任意输入或框选扫描面积(正方形,长方形,矩形);同时还能自定义序列扫描,跳过没有样品的空白位置;可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸,自动设定扫描范围;

6. 最大扫描速率:1,500 mm/s

7. 重复精度:+/- 0.1μm

8. 标准工作水槽尺寸:670 *600 * 70mm 或670 * 600 * 150mm 或定制加长工作水槽,配置工字形样品台

二  电子部分:

1. DPR 500 超声波接收和发射器频率带宽:500MHz

2. ADC卡采样频率:1G/秒

3. 前置放大器:L2,H2,H3




 支持换能器(探头)范围:5MHz- 400MHz

德国PVA专利产品Hibert Filter- 外置滤波器(软件开关控制,用于110MHz 以上延迟性探头使用)

2.  各种样品吸盘、夹具定制、半自动化设备升级

3. 专业图像处理与计算软件(空洞率计算和颗粒度分析,不仅适用于超声波扫描显微镜,同时可用于电镜、光学显微镜、 共聚焦显微镜、   X-Ray 等众多显微检测设备)

SAM 300 Twin 双探头扫描系统

 图为左右排列双探头,每个探头各扫描1个6" Wafer

 

 SAM 300 Twin  双探头扫描系统(双探头可左右排列或前后排列),成倍提高检测效率


软件部分: 最新Winsam 8 超声扫描成像软件,部分功能介绍:

1.  主要扫描模式包括:A扫描(点扫描)、B扫描、C扫描、多层C扫描、在不同的Z高度进行连续的C扫描、多重门限扫描、透射扫描、托盘扫描、、顺序扫描、高清晰扫描、表面跟踪扫描、实体扫描模式等;透射扫描模式选件:Through Scan 透射扫描固定单元及接收探头;

2. 表面稳定功能:可消除或减弱样品表面刻字,激光打标等对样品内部超声波信号所带来的影响;

3. 图像输出格式:tiff, bmp, jpeg, png 等;  tiff格式能一键存储保存所有的扫描参数,可在下一次扫描时调用;

4.定量测量功能:X -Y 长度测量、厚度与距离测量、缺陷百分比计算:可根据样品的实际轮廓(圆形,矩形,不规则形)进行缺陷面积百分比统计分析,样品扫描后可提供缺陷尺寸列表并输出报告,点击列表中任一行可显示该缺陷在扫描图像上的X/Y 区域,便于进一步分析和定位缺陷等;

5. 图像着色功能:根据相位翻转自动着色;根据灰度等级手动着色;根据渡越时间手动着色,根据厚度变化手动着色(已知材料的阻抗值)

6.  报告生成:扫描后生成扫描分析报告,报告中包含:最终扫描图片、各种扫描参数设置、样品的A扫描波形图等;

7.软件可显示探头在水槽中的X/Y/Z三维坐标和当前所设定的扫描范围;

8.用户可自主选择XY轴移动方向、各种探头回位方式、以何种方式调用之前扫描保存的图片来获得扫描参数等;

9. 射频增益:〉100dB

10. 图像分辨率:≥20,000 * 20,000 像素,最高可支持32000 * 32000 像素(基于ADC卡内存)

11.安全性:打开机罩门,扫描即刻暂停扫描,以防止操作人员误操作受伤;关上机罩门,即刻继续刚暂停的扫描,而无需重新进行参数设定,避免浪费时间。


专业工业控制计算机系统:

基本配置:CPU 3.6 GHz, Intel 四核处理器,16GB 内存,1T硬盘,DVD-RW刻录光驱,高速图像卡,Windows 10操作系统,PS2,RS232,USB及网络接口,1台27" LCD 液晶显示器或2台22寸液晶显示器, 配置防静电操作台


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