Inspect S50 - 科视达

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产品名称： Inspect S50

上市日期：2018-01-09

产品参数
适用范围
说明
产品描述
参数配置

电子光学

• 高性能电子光学镜筒，双阳极热发射电子枪

• 固定式物镜光阑，使用方便

•45°锥度物镜极靴，及“穿过透镜”的压差真空系统

• 加速电压: 200 V - 30 kV

• 束流:最大2 μA并连续可调

• 放大倍数: 13 x –1,000,000 x

分辨率

• 高真空

-30 kV下3.0 nm (SE)

-30 kV下4.0 nm (BSE) *

-3 kV下8.0 nm (SE)

• 高真空下减速模式*

-3 kV下7.0 nm *

• 低真空

-30 kV下3.0 nm (SE)

-30 kV下4.0 nm (BSE)

-3 kV下10 nm (SE)

检测器

•E-T二次电子探头

• 大视场低真空气体二次电子探头(LFD)

• 高灵敏度、低电压固体背散射探头*

• 样品室红外CCD相机*

• 四分固体背散射探头*

• 闪烁体型背散射探头/CLD*

•vCD (低电压高衬度探头)*

• 电子束流检测器*

• 分析型气体背散射探头(GAD)*

•Nav-Cam™ – 光学相机彩色成像，用于样品导航*

• 阴极荧光探测器*

• 能谱*

• 波谱*

•EBSD*

安装要求

(更多的数据请参考“预安装手册”)

• 电源: 电压230 V (+ 6 %, - 10 %),

频率50 or 60 Hz (+/- 1 %)

• 耗电量: 电镜基本系统< 3.0 kVA

• 接地: < 0.1 Ω(欧洲标准)

• 场地环境: 工作温度15 °C - 25 °C；

• 相对湿度

< 80 % (无冷凝)；残余交流磁场

< 100 nT(非同步频率，水平X/Y方向),

< 300 nT (同步频率，水平X/Y方向)

• 门宽: 90 cm

• 重量: 主机重量约450 kg

• 干燥氮气(推荐使用): 0.7 - 0.8 bar,

放气时最大流速10 l/min

• 噪音: < 68 dBC (需场地测试确定)

• 振动(需场地测试确定)

• 减振台可选

节能措施

•Energy Star认证的显示器和工作站

• 无需冷却水和空压机

简便易用的低真空扫描电镜及时、准确地得到答案

研究各种各样的材料，并进行结构和成份表征，是目前对扫描电镜的主流应用要求。简便易用的Inspect™ S50是为这些研究量身定做的，具有较强的灵活性和通用性。Inspect S50能提供各种数据：包括表面像、成份像并结合元素分析结果；这些数据可用于确定材料的性质和成份构成。

当今人们利用扫描电镜研究的材料早已超出单纯的金属和经导电喷涂处理过的样品，Inspect S50能用来分析导电和不导电的样品。它对典型材料，从金属、断口、抛光截面到不导电的软物质等的表征十分方便和快速，能为研究者节省大量时间。其用户界面简捷、易学，但仍具有足够的灵活性以应对挑战。例如：标准的样品导航功能，包括鼠标双击样品台移动和拖曳放大居中功能；SmartSCAN™，一种智能扫描技术，能更容易地降低信号噪音，提供更好的数据。它是电镜专家设计来给电镜专家使用的仪器，性能远不止“简便易用”。

Inspect S50可装备很多新的特色技术，用于进行一些特殊的分析或研究目的。比如如电子束减速，一个可选功能，将钨灯丝扫描电镜的低加速电压性能提高到一个全新的水平。Nav-Cam™ 彩色图像导航器及新开发的探测器也大大增加了其灵活性。更多数据、更多灵活性、更高效率，Inspect S50的简捷操作性能助您及时解决问题，使您的投资更具价值。

主要优点

• 直观、简便易用的软件，即使电镜新手也能轻易上手

• 方便地分析导电和不导电样品

• 最大程度降低样品制备要求:低真空技术使得不导电样品不经导电处理即可直接成像和分析，样品表面无电荷累积现象

• 专利的“穿过透镜”的压差真空系统，对导电和不导电样品都可进行准确的EDS/EBSD分析，不管是在高真空模式或在低真空模式

• 稳定的大束流(最大> 2 μA)确保快速、准确的能谱及EBSD分析工作

• 对导电样品，可选用减速模式得到表面和成份信息

真空系统

•1个70 l/s 涡轮分子泵, 1个机械泵

• 专利的“穿过透镜”的压差真空系统

• 电子束在气体区域的行程：10 mm或2 mm

• 可升级成无油机械泵

• 样品室真空度(高真空模式) < 6e-4 Pa

• 样品室真空度(低真空模式) < 10 to 270 Pa

• 典型换样时间: 高真空模式≤150秒；

低真空及环境真空模式≤270秒(FEI标准测试程序)

样品室

• 左右内径284 mm

•10 mm分析工作距离

•8个探测器/ 附件接口

•EDS采集角: 35°

样品台

•X/Y = 50 mm

•Z = 50 mm (其中马达驱动25 mm)

• 手动倾斜：15°- to + 75°

• 连续旋转360°

• 重复精度: 2 μm (X/Y方向)

• 全对中样品台

样品座

• 多样品座

• 单样品座

• 适用于硅片或其它特殊要求的样品座*

系统控制

• 基于Windows® XP 操作系统的32位图形用户界面，

• 键盘，光电鼠标

•1个/2个* 19寸液晶显示器, 分辨率1280 x 1024

• 软件驱动的输入/输出共享器*

• 游戏操纵杆*

• 多功能控制板*

图像处理器

•SmartSCAN™ 智能扫描技术

• 最大4096 x 3536像素

• 图像文件格式：TIFF (8 or 16 bit), BMP or JPEG

•256 帧平均或积分

系统选项

• 减速模式

• 多功能控制板

• 支持计算机(包括第二个19寸液晶显示器)

• 游戏操纵杆

• 样品电流探测

• 远程诊断

• 视频打印机

• 样品座套件

• 机械泵隔音罩

•7针或52针电气接口

• 波谱仪接口

• 更换成无油机械泵套件

通用第三方附件

• 能谱仪

• 波谱仪

•EBSD

• 冷台

• 阴极荧光谱仪

• 样品电流探测器

• 纳米机械手

•CAD导航

• 电子探针台

软件选项

• 远程控制/观察软件

• 图像分析软件

• 基于Web的数据库软件

• 高度分布/粗糙度测量软件

支持文档

• 在线帮助

• 入门培训CD

•RAPID™(远程诊断软件)

• 免费连接到FEI用户群在线资源库

• 免费加入FEI环境扫描用户俱乐部