声学扫描显微镜是一种多功能、高分辨率的显微成像仪器,同时具备电子显微术高分辨率和显微术非破坏性内部成像的特点, 那么在整个检测过程中有哪些事项需要注意的呢?
一方面,送样需知。表面很粗糙或者内部有很多气泡的样品是比较难检测出来的;需要液体进行超声波传输,可能给样品带来损害技术参数。
另一方面,分析数据注意点。在SAM的图像中,衬度变化构成了重要信息,高的衬度往往在有裂缝,空洞和分层剥离的位置产生,只有这样才好在背景中做区分。回波脉冲的正负性和强度构成一幅能反映界面状态缺陷的超声图像。(1)C-SAM是的重要技术手段之一,它可与X射线分析互补;X-ray则是穿透,可以看到Voids, Crack, Delamination,但无法判断出缺陷在哪层,C-sam可以。(2)对平直界面不连续性缺陷十分灵敏。(3)非常适合塑料封装器件内部分层分析,也针对器件、印制电路板上热沉焊接。(4)结合破坏性手段,焊点的分析。对设备配置和操作员经验有要求。(5)复杂情况下的超声分析结果需要其它技术手段比对。
一般来说,声学扫描显微镜多被广泛的应用在物料检测、失效分析、质量控制、保证及可靠性、研发等领域。可检用于测材料内部的晶格结构、杂质颗粒、内部裂纹、分层缺陷、空洞、气泡、空隙等,为实事提供客观公正的微观依据。而细致的检测,才能更能事半功倍。