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国内MEMS科研单位特色小结

Date: 2018-06-05
Views: 49

MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

研究机构  
东南大学MEMS重点实验室研究重点在不太耗资金,但是前景不错的MEMS CAD 

北京大学微电子研究院MEMS研究所国内最早提供MEMS代工,有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向 

西北工业大学微纳米系统实验室面向国防建设,致力于航空航天机载设备、武器的微型化,集成化、信息化;结合西部大开发,促进高新技术产业化。产、学、研相结合,开展微/纳米系统及其相关技术的研究。

清华大学室微电子学研究所微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统,研究范围是:新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向:新型微电子器件与系统,纳电子学。


哈工大在MEMS传感器结构设计以及传感器接口电路方面有较长时间的积累。

中科院上海微系统研究所基本实现了微型惯性器件MEMS工艺小批量制造能力,实现了4英寸硅片上的高g传感器批量制造,开展了两维和三维高g传感器的研发和具有电自测功能的传感器中电集团十三所国家863计划MEMS专项基地,加速度传感器、陀螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、振动传感器、流量传感器、光开关、光衰减器、光反射镜、RF开关、微波移相器、微波带通滤波器 



中电集团二十四所也是模拟IC生产经验+MEMS工艺开发经验,擅长MEMS与电路的集成   中电集团四十九所已经掌握了如产品的批生产质量控制技术和批生产成本控制等MEMS产业化技术,拥有自主知识产权 。

中电集团五十五所擅长RF MEMS和声表面波器件 。


上海交通大学微纳科学技术研究院非硅MEMS加工 。



中北大学微米纳米研究中心MEMS器件及系统,包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造 。



大连理工大学微系统研究中心微机密齿轮制造、微操作与微装配平台研究以及mems工艺开发等。


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2018 - 08 - 21
作为新一代的扫描测试设备,该超声波扫描显微镜在扫描方式和数据精确度方面有着更高的技术手段,而且获取出来的图像质量也会更有保证,所以受到用户的广泛选择,那么,人们选择超声波扫描显微镜的三大理由到底是什么呢?1、检测灵敏度高且数据精准很多用户对于超声波扫描显微镜哪个牌子好这个问题都有着不同的见解,但事实证明检测灵敏度高且数据精准都是该优秀显微镜所具备的产品特征,因其会根据实际应用中的不同问题来及时调整检测方案,同时,其也会利用超声波的优势来获取高精准的数据,从而满足高标准的科学实验需求。2、安全性好且噪音小与传统的显微镜设备对比,该超声波扫描显微镜在安全性方面的优势更为显着,其通过先进的技术从而来有效降低设备对人体的辐射,而且对于检测物也有极高的安全保障措施,另外,该超声波扫描显微镜在生产作业时不会产生任何噪音,因此也能有效减少噪音对周围居民的休息及环境所造成的影响。3、使用寿命长且价格合理超...
2018 - 08 - 21
如今众多领域都需要应用到专业的超声波扫描显微镜,它可以在工业的生产线中利用手工扫描的方法来检测出所生产的零件是否具有缺陷,这样在生产的过程中为工人提供极大的便利的同时也越发让人们离不开它。那么该怎么进行保养使得超声波扫描显微镜的使用时间较长。  一、不要在高温环境下长时间使用显微镜  在夏季很多场合的气温过高,因此如果需要使用超声波扫描显微镜时需要在空调房中使用,因为如果当周围温度过高时会引起显微镜发生火灾,这样不仅会让自己处于危险的环境中,也会给公司造成经济损失。  二、避免磁场的干扰  在使用超声波扫描显微镜时必须要避开强力震动的电磁场,因为磁场会造成显微镜的暂时性失效,使用它将不会有任何的效果,如果环境中有任何具有带磁性的产品时也要将它远离超声波扫描显微镜。所以在挑选超声波扫描显微镜的时候一定要注意尽量挑选防静电能力强的保护膜。  三、保持元器件的干燥  为了保持超声波扫描显微镜元器...
2018 - 08 - 16
随着超声波扫描显微检测技术的持续发展,超声波检测仪的功能更加具体化智能化被广泛的运用于测试气体压力系统,检测管道泄漏,材料处理系统等领域。并在为广大客户群体提供对各种精密机器设备的检测工作当中起到了不可或缺的作用。那么选择使用超声波检测仪具体可以有哪些好处?一、超声波检测仪的性价比高作为营利为目的的组织机构,不管什么类型的企业都非常看重日常生产工作的效益,使用一款工作效率高工作效益又好的仪器工具,对企业起到的作用往往也是不容忽视的。作为一款系统强大高性能的检测工具,顾客可以依据企业日常工作的精细度,参考不同类型不同品牌的超声波检测仪报价及图片大全,选择合适的超声波检测仪,有效减少企业技术成本同时又能保障日常工作中数据的准确率。二、超声波检测仪可以有效的保障日常工作的安全现在市面上研发制作检测仪器的厂家有很多,功能各异。在日常的管道泄漏检测,设备安全监测、生命财产安全保护的工作中,超声波检测...
2018 - 08 - 16
超声波检测仪凭借其小巧精致易于操作的显著优点在现代社会中不同的领域都得到了广泛的应用,对于超声波检测仪的使用者而言该仪器能否正常运行将会直接影响到其日常工作。那么超声波检测仪在实际操控的过程中都需要注意哪些事项呢?超声波检测仪厂家口碑好将在下文中对这些事项予以介绍。第一、避免人为频繁开关机众所周知很多仪器在使用过程中如若遭遇人为刻意的开关机操作都会对仪器本身产生些许损害,对于作为一种精密检测仪器的超声波检测仪而言也是如此。因此使用者应当尽量避免人为的对其进行频繁开关机操作,如若无意中将超声波检测仪关停则应当稍等片刻再做开启操作。第二、远离强力磁场超声波检测仪的正常运行离不开超声波的支持,但是有一些因素会对超声波产生一定的干扰诸如强力磁场。这就要求超声波检测仪的操控人员操控该仪器之时应当注重周边的环境,尽量与强力磁场保持一定的距离。第三、不得擅自拆装任何仪器或设备在长期运行的过程中难免会遭遇...
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