全国咨询热线:021 6508 7716 全国热线电话:137 0168 5332

新闻资讯

News
News 新闻中心 新闻资讯

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

Date: 2018-06-05
Views: 145

据中国半导体工业协会(CSIA)的数据,2013年中国半导体销售额2408亿元,同比增长11.6%,其中设计808.8亿元,增长30.1%;制造600.8亿元,增长19.9%;封装1098.8亿元,增长6.1%,而进口半导体芯片为2313亿美元。


史上最全的半导体材料工艺设备汇总

根据安邦半导体产业顾问莫大康提供的数据,在2013年中国半导体前10大制造商中,外商占4家,包括如SK、Hynix、Intel、TSMC及和舰,不包括在成都的德州仪器。总销售额为454.1亿元,其中4家外资为187.5亿元,占比贡献为41.2%。


史上最全的半导体材料工艺设备汇总

在2013年中国前10大封装制造商中,外商占7家(未计及西安的美光),总销售额为442.9亿元,其中外资为257.9亿元,占比贡献为58.2%。

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

半导体业如此巨大的市场,半导体工艺设备为半导体大规模制造提供制造基础,摩尔定律,给电子业描绘的前景,必将是未来半导体器件的集成化、微型化程度更高,功能更强大。

(source:中研网)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

新材料在线小编为您解读半导体生产过程中的主要设备概况。


1、单晶炉

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:单晶炉。

设备功能:熔融半导体材料,拉单晶,为后续半导体器件制造,提供单晶体的半导体晶坯。

主要企业(品牌):

国际:德国PVA TePla AG公司、日本Ferrotec公司、美国QUANTUM DESIGN公司、德国Gero公司、美国KAYEX公司。

国内:北京京运通、七星华创、北京京仪世纪、河北晶龙阳光、西安理工晶科、常州华盛天龙、上海汉虹、西安华德、中国电子科技集团第四十八所、上海申和热磁、上虞晶盛、晋江耐特克、宁夏晶阳、常州江南、合肥科晶材料技术有限公司、沈阳科仪公司。


2、气相外延炉

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:气相外延炉。

设备功能:为气相外延生长提供特定的工艺环境,实现在单晶上,生长与单晶晶相具有对应关系的薄层晶体,为单晶沉底实现功能化做基础准备。气相外延即化学气相沉积的一种特殊工艺,其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续,而且与衬底的晶向保持对应的关系。

主要企业(品牌):

国际:美国CVD Equipment公司、美国GT公司、法国Soitec公司、法国AS公司、美国ProtoFlex公司、美国科特·莱思科(Kurt J.Lesker)公司、美国Applied Materials公司。

国内:中国电子科技集团第四十八所、青岛赛瑞达、合肥科晶材料技术有限公司、北京金盛微纳、济南力冠电子科技有限公司。


3、分子束外延系统(MBE,Molecular Beam Epitaxy System)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:分子束外延系统。

设备功能:分子束外延系统,提供在沉底表面按特定生长薄膜的工艺设备;分子束外延工艺,是一种制备单晶薄膜的技术,它是在适当的衬底与合适的条件下,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜。

主要企业(品牌):

国际:法国Riber公司、美国Veeco公司、芬兰DCA Instruments公司、美国SVTAssociates公司、美国NBM公司、德国Omicron公司、德国MBE-Komponenten公司、英国Oxford Applied Research(OAR)公司。

国内:沈阳中科仪器、北京汇德信科技有限公司、绍兴匡泰仪器设备有限公司、沈阳科友真空技术有限公司。


4、氧化炉(VDF)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:氧化炉。

设备功能:为半导体材料进行氧化处理,提供要求的氧化氛围,实现半导体预期设计的氧化处理过程,是半导体加工过程的不可缺少的一个环节。

主要企业(品牌):

国际:英国Thermco公司、德国Centrothermthermal solutions GmbH Co.KG公司。

国内:北京七星华创、青岛福润德、中国电子科技集团第四十八所、青岛旭光仪表设备有限公司、中国电子科技集团第四十五所。


5、低压化学气相淀积系统(LPCVD,Low Pressure Chemical Vapor Deposition System)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:低压化学气相淀积系统

设备功能:把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入LPCVD设备的反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜。

主要企业(品牌):

国际:日本日立国际电气公司、

国内:上海驰舰半导体科技有限公司、中国电子科技集团第四十八所、中国电子科技集团第四十五所、北京仪器厂、上海机械厂。


6、等离子体增强化学气相淀积系统(PECVD,Plasma Enhanced CVD)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:等离子体增强化学气相淀积系统

设备功能:在沉积室利用辉光放电,使其电离后在衬底上进行化学反应,沉积半导体薄膜材料。

主要企业(品牌):

国际:美国Proto Flex公司、日本Tokki公司、日本岛津公司、美国泛林半导体(Lam Research)公司、荷兰ASM国际公司。

国内:中国电子科技集团第四十五所、北京仪器厂、上海机械厂。


7、磁控溅射台(MagnetronSputter Apparatus)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:磁控溅射台。

设备功能:通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场,和靶表面上形成的正交电磁场,把二次电子束缚在靶表面特定区域,实现高离子密度和高能量的电离,把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。

主要企业(品牌):

国际:美国PVD公司、美国Vaportech公司、美国AMAT公司、荷兰Hauzer公司、英国Teer公司、瑞士Platit公司、瑞士Balzers公司、德国Cemecon公司。

国内:北京仪器厂、沈阳中科仪器、成都南光实业股份有限公司、中国电子科技集团第四十八所、科睿设备有限公司、上海机械厂。


8、化学机械抛光机(CMP,Chemical Mechanical Planarization)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:化学机械抛光机

设备功能:通过机械研磨和化学液体溶解“腐蚀”的综合作用,对被研磨体(半导体)进行研磨抛光。

主要企业(品牌):

国际:美国Applied Materials公司、美国诺发系统公司、美国Rtec公司、。

国内:兰州兰新高科技产业股份有限公司、爱立特微电子。


9、光刻机(Stepper,Scanner)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总



设备名称:光刻机。

设备功能:在半导体基材上(硅片)表面匀胶,将掩模版上的图形转移光刻胶上,把器件或电路结构临时“复制”到硅片上。

主要企业(品牌):

国际:荷兰阿斯麦(ASML)公司、美国泛林半导体公司、日本尼康公司、日本Canon公司、美国ABM公司、德国德国SUSS公司、美国MYCRO公司。

国内:中国电子科技集团第四十八所、中国电子科技集团第四十五所、上海机械厂、成都南光实业股份有限公司。


10、反应离子刻蚀系统(RIE,Reactive Ion Etch System)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:反应离子刻蚀系统。

设备功能:。平板电极间施加高频电压,产生数百微米厚的离子层,放入式样,离子高速撞击式样,实现化学反应刻蚀和物理撞击,实现半导体的加工成型。

主要企业(品牌):

国际:日本Evatech公司、美国NANOMASTER公司、新加坡REC公司、韩国JuSung公司、韩国TES公司。

国内:北京仪器厂、北京七星华创电子有限公司、成都南光实业股份有限公司、中国电子科技集团第四十八所。


11、ICP等离子体刻蚀系统(ICP, Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching System)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:ICP等离子体刻蚀系统。

设备功能:一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中,在外部能量作用下(如射频、微波等)形成等离子体,一方面等离子体中的活性基团与待刻蚀表面材料发生化学反应,生成可挥发产物;另一方面等离子体中的离子在偏压的作用下被引导和加速,实现对待刻蚀表面进行定向的腐蚀和加速腐蚀。

主要企业(品牌):

国际:英国牛津仪器公司、美国Torr公司、美国Gatan公司、英国Quorum公司、美国利曼公司、美国Pelco公司。

国内:北京仪器厂、北京七星华创电子有限公司、中国电子科技集团第四十八所、德尔等离子科技(香港)控股有限公司、中国科学院微电子研究所、北方微电子、北京东方中科集成科技股份有限公司、北京创世威纳科技。


12、离子注入机(IBI,Ion Beam Implanting)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:离子注入机。

设备功能:对半导体表面附近区域进行掺杂。

主要企业(品牌):

国际:美国维利安半导体设备公司、美国CHA公司、美国AMAT公司、Varian半导体制造设备公司(被AMAT收购)。

国内:北京仪器厂、中国电子科技集团第四十八所、成都南光实业股份有限公司、沈阳方基轻工机械有限公司、上海硅拓微电子有限公司。


13、探针测试台(VPT,Wafer prober Test)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:探针测试台。

设备功能:通过探针与半导体器件的pad接触,进行电学测试,检测半导体的性能指标是否符合设计性能要求。

主要企业(品牌):

国际:德国Ingun公司、美国QA公司、美国MicroXact公司、韩国Ecopia公司、韩国Leeno公司。

国内:中国电子科技集团第四十五所、北京七星华创电子有限公司、瑞柯仪器、华荣集团、深圳市森美协尔科技。


14、晶片减薄机(Back-sideGrinding)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总



设备名称:晶片减薄机。

设备功能:通过抛磨,把晶片厚度减薄。

主要企业(品牌):

国际:日本DISCO公司、德国G&N公司、日本OKAMOTO公司、以色列Camtek公司。

国内:兰州兰新高科技产业股份有限公司、深圳方达研磨设备制造有限公司、深圳市金实力精密研磨机器制造有限公司、炜安达研磨设备有限公司、深圳市华年风科技有限公司。


15、晶圆划片机(DS,Die Sawwing)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:晶圆划片机。

设备功能:把晶圆,切割成小片的Die。

主要企业(品牌):

国际:德国OEG公司、日本DISCO公司

国内:中国电子科技集团第四十五所、北京科创源光电技术有限公司、沈阳仪器仪表工艺研究所、西北机器有限公司(原国营西北机械厂709厂)、汇盛电子电子机械设备公司、兰州兰新高科技产业股份有限公司、大族激光、深圳市红宝石激光设备有限公司、武汉三工、珠海莱联光电、珠海粤茂科技。


16、引线键合机(Wire Bonder)

史上最全的半导体材料工艺设备汇总

设备名称:引线键合机。

设备功能:把半导体芯片上的Pad与管脚上的Pad,用导电金属线(金丝)链接起来。

主要企业(品牌):

国际:美国奥泰公司、德国TPT公司、奥地利奥地利FK公司、马来西亚友尼森(UNISEM)公司。

国内:中国电子科技集团第四十五所、北京创世杰科技发展有限公司、宇芯(成都)集成电路封装测试有限公司(马来西亚友尼森投资)、深圳市开玖自动化设备有限公司。

1、单晶炉:

德国PVA TePla AG公司、日本Ferrotec公司、美国QUANTUM DESIGN公司 ……

2、气相外延炉:

美国CVD Equipment公司、美国GT公司、法国Soitec公司……

3、分子束外延系统:

法国Riber公司、美国Veeco公司、芬兰DCA Instruments公司……

4、氧化炉:

英国Thermco公司、德国Centrotherm thermalsolutions GmbH Co.KG公司……

5、低压化学气相淀积系统:

日本日立国际电气公司……

6、等离子体增强化学气相淀积系统:

美国Proto Flex公司、日本Tokki公司、日本岛津公司……

7、磁控溅射台:

美国PVD公司、美国Vaportech公司、美国AMAT公司……

8、化学机械抛光机:

美国Applied Materials公司、美国诺发系统公司、美国Rtec公司……

9、光刻机:

荷兰阿斯麦(ASML)公司、美国泛林半导体公司、日本尼康公司……

10、反应离子刻蚀系统:

日本Evatech公司、美国NANOMASTER公司、新加坡REC公司……

11、ICP等离子体刻蚀系统:

英国牛津仪器公司、美国Torr公司、美国Gatan公司……

12、离子注入机:

美国维利安半导体设备公司、美国CHA公司、美国AMAT公司……

13、探针测试台:

德国Ingun公司、美国QA公司、美国MicroXact公司……

14、晶片减薄机:

日本DISCO公司、德国G&N公司、日本OKAMOTO公司……

15、晶圆划片机:

德国OEG公司、日本DISCO公司……


回到顶部
News / Relative News More
2018 - 12 - 06
超声波扫描显微镜是在显微镜的基础上进行技术的创新和产品的升级,其融入了超声波技术对扫描显微镜的清晰度和探索度都有帮助,超声波技术也属于科技领域较为高级的科技,那么购买者在使用超声波扫描显微镜时需要了解的注意事项有哪些?一、注意在使用超声波显微镜时不要携带金属制品由于超声波扫描显微镜是使用超声波技术进行物品的观察记录,而超声波与金属制品会产生物理反应导致一些不安全的事件发生。因此各位使用者在对扫描显微镜进行操作时可以先检查自身,注意细小的零件设备例如手表项链等容易被忽略的生活用品。二、注意在使用时应该穿戴好专业的设备衣物关于超声波扫描显微镜哪家比较专业这个话题的讨论可以通过许多细节得出答案,专业生产超声波扫描显微镜的品牌肯定明白应该如何使用显微镜,因此购买者只需查看该品牌是否在使用时穿戴好专业的设备服装,并且是否拥有专业的团队提供协助就能够明白该品牌的专业度。三、注意使用时的观察样品应该摆放...
2018 - 12 - 06
各位购买者对于超声波扫描显微镜哪家比较专业这个问题相当的苦恼和好奇,而超声波扫描显微镜这一在科技领域获得重大机械突破的创作,也受到了许多微观爱好者对于更高清晰度分辨度的追捧和喜爱,那么对于不了解显微镜的购买者来说选择超声波扫描显微镜的好处有哪些?一、能够更加清晰的了解观察样品超声波扫描显微镜相比于光学显微镜拥有着更高的分辨率和清晰度,在观察同一物品时使用超声波显微镜能够比光学显微镜的观察度更高,也能够保证所观察物品的细节和微小分子能够被购买者捕捉,相比光学显微镜在清晰度方面的比拼超声波显微镜显然更胜一筹。二、能够观测到普通显微镜无法突破的微小物质超声波扫描显微镜拥有着更高的扫描频率和分辨率,由于光学显微镜的观察样品是有着尺寸范围的,小于纳米范围及其以下的观察对象光学显微镜是无法捕捉和放大的,而使用超声波显微镜就能够较为轻松的解决观察对象尺寸过于微小的难题。三、观察样品的制作过程也更加方便快...
2018 - 11 - 28
c-sam超声波检测是指利用超声波显微镜进行专业检测,许多人将超声波检测与其他同类检测相混淆,此种检测是根据不同密度材料的反射速率进行深度分析,所以它的分析精度高且错误率低,而C-SAM的传输信号即为超声波,众所周知超声波的抑制界面较少而且穿透率较高,那么C-SAM检测具有哪些优势呢?一、限制性较小小编注意到目前应用C-SAM检测的领域涵盖了塑料封装IC以及各种晶片和pcb行业、LED生产行业,可知对C-SAM检测的限制较小,尤其检测裂纹缺陷以及空洞分层或者金属基板的各种问题时采用C-SAM检测要明显优于同类检测,应用范围广且对行业限制小是C-SAM检测的重要优势。二、测试简单传统同类设备测试中效率有待提高,而使用C-SAM检测的测试步骤则大大简化,确认样品类型后仅需选择相应的频率探头,再将其放置测量装置当中让C-SAM检测工具正常开机并顺利进入扫描模式,即可对图像进行深度扫描,自动化缺陷...
2018 - 11 - 21
小编注意到有诸多汽车零部件生产行业、模具制造等行业均需要使用C-SAM检测设备进行金属材料的零部件失效测试,该种测试分析可以分析出常见的失效模式,包含了断裂失效、腐蚀失效以及磨损失效等。尤其对于精密零件制造行业来说断裂失效分析是提高工艺品质的关键,下面小编就告诉您通过c-sam超声波检测设备进行金属材料零部件失效分析的几种常用手段。一、断口分析据C-SAM检测设备生产厂家介绍此种断口分析是极其常用的失效分析方法,顾名思义便是分析断裂源,因为通过C-SAM检测分析设备可以分析出断口特征的形貌,并且通过高清放大解理断裂和沿晶断裂还原失效的过程以及所呈现出的特征与失效间的相互关系。二、金相组织分析通过超声波扫描显微镜C-SAM分析设备进行金相组织分析,主要是以评估组织级别以及工艺的匹配程度等酌情分析,还可以让断裂等级分析更加精准,通过C-SAM设备进行金相组织分析中可以明显的看锌铝合金过时失效的...
Copyright ©2017 - 2019 科视达
犀牛云提供企业云服务
科视达(中国)有限公司
科视达(上海)国际贸易有限公司
上海总部:( 021 ) 6508-7716  (021)6508-3319
北京分部:  ( 010 ) 6708-0981
深圳分部:  ( 0755 ) 8379-0503 ( 0755 ) 8272-4458
成都分部:  ( 028 ) 8613-2728
武汉分部:  177 4975 1126
香港分部:  ( 00852 ) 2854-3911
扫一扫
浏览手机云网站吧