扫描显微镜是一种利用传播媒介的无损检测设备。在工作中采用反射或者透射等扫描方式来检查元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷。超声扫描显微镜的原理是利用脉冲回波的性质,激励压电换能器发射出多束通过耦合液介质传递到被测样品,在经过不同介质时会发生折射、反射等现象,通过阻抗不同的材料时会发生波形相位、能量上的变化等现象,经过一系列数据采集计算形成灰度值图片,可用来分析样品内部状况。该设备作为无损检测分析中的一种,它可以实现在不破坏物料电气能和保持结构完整性的前提下对物料进行检测。被广泛的应用在物料检测(IQC)、失效分析(FA)、破坏性物理分析(DPA)、可靠性分析、元器件二次筛选、质量控制(QC)、质量保证及可靠性(QA/REL)、研发(R&D)等领域。科视达专为广大用户提供国际上先进的超声扫描检测检验设备, 系德国 PVA TePla 超声波扫描显微镜 ( SAM /SAT ) 之中国区代理。其拥有数十款超声扫描显微镜整体硬件及相关的耗材配件。其AM300基本型就支持A-(点扫描),B-(纵向扫描),C-(横向扫描),D- 斜面扫描、G-/X-横向多层扫描,P- 纵向多层扫描,3D扫描,Z-实体扫描,透射扫描(需配置透射扫描单元及接收探头选项),S-扫描(透射 C-扫描同时进行),HQ-高清扫描,顺序扫描,自动扫描,Tray-托盘扫描,预扫描和快速预扫描等;可以完成分层面积百分比计算;缺陷尺寸标识;厚度与距离测量等 ;声阻抗计算等。综上所述,基础款就拥有如此强大的功能,其还有更多进阶版本,可以满足各类苛刻使用要求的客户。同时,科视达还携手德国 PVA TePla 在上海成立了亚洲级别的德国 PVA TePla 超声扫描显微镜上海联合实验室,为广大用户提供现场看机服务,技术交流,及样品外协测试服务。
2023-01-11
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