全国咨询热线:021 6508 7716 全国热线电话:137 0168 5332

新闻资讯

News
News 新闻中心 新闻资讯

晶圆键合检测‍的相关知识

Date: 2023-02-06
Views: 30

很多产品在制造中采用品圆到品圆键合技术,而这类产品的范围还在迅速扩张,这包括晶圆级封装以及多种三维集成应用。品圆本身可能是硅、化合物半导体、蓝宝石、玻璃、石英或其他材料。针对不同应用已经开发了多种晶圆键合方法。晶圆键合操作的封装流程往往既昂贵又耗时,因此对其进行检测是十分重要的,今天我们一块看下晶圆键合检测‍的相关知识。

QQ截图20230108213618.png

1.声学微成像技术

声学微成像技术可用于此类瑕疵的检测。该技术对内部的材料界面非常敏感。红外辐射也可以用于晶圆对的成像,但它仅对大的瑕疵且是红外透明的材料敏感。而另一种方法也就是X射线,对多晶硅界面的检测效果并不理想。在前面所述的例子里,声学微成像技术所用的高频超声波可以对Cu-Cu键合中的铜焊盘进行成像,并识别出铜线间缺陷、Si-Si晶圆对间的未键合区域以及颗粒。

QQ截图20230108213623.png

2.原理

声学微成像系统使用光栅扫描换能器,发射超声脉冲进入键合晶圆对的内部并收集反射回来的回声信号。发射进入晶圆对的脉冲会聚焦在感兴趣的深度,典型地是键合界面的位置。回声信号经转换变成声学数据并用于绘制

用户定义深度范围内的声学图像。这些信息的接受窗口称作门。通过移动对应的门,用户可以从非常窄的不同切片位置采样相关信息,比如可以从键合叠层的上表面、键合界面抑或下表面位置采样。

3.超声波检测

用于晶圆对成像的换能器通常采用230 MHz或更高频率的超高频超声波。回声信号仅仅从材料界面位置产生,而不会从同种材料内虢形成。作为可用信号的脉冲信号反射百分比取决于两种材料间的声学阻抗。如果个晶圆对是由两个直接键合在一起的硅晶圆组成的,则在键合界面位置不存在缺陷或异常的前提下,这两种材料是相同的,在界面位置将不存在反射。这种晶圆对的期望声学图像应是没有任何图案的黑色图像。

由于传感器对剖面形状及时的检测,针对目标形貌不断调整的工艺参数,以及多分区压力可调的研磨头的作用,可以实现比开环史加均匀的铜薄膜研磨过程,达到更稳定的晶圆内薄膜厚度均匀性。此类晶圆键合检测‍逐渐成为控制那些窗口益缩小、复杂性不断增加的特殊关健工艺必不可少的组成部分。

回到顶部
News / Relative News More
2023 - 09 - 22
作为一种高分辨率、深度穿透、非侵入性的成像技术,单探头超声波扫描显微镜利用超声波进行显微观察和分析。与传统的光学显微镜相比,单探头德国超声波扫描显微镜具有更高的分辨率和深度穿透能力,可以实现对生物组织和材料的高分辨率成像。一、工作原理单探头德国超声波扫描显微镜的工作原理基于超声波的传播和反射。它通过一个单独的探头发射超声波脉冲,然后接收并记录被测样品上反射回来的信号。通过计算反射信号的强度和时间延迟,可以构建出被测样品的内部结构图像。这种技术不受光线的限制,因此可以在透明、不透明或多层材料中进行成像。二、功能与优势1. 高分辨率成像:它具有很高的空间分辨率,可以捕捉到微小的细胞结构和材料特征,为生物学和材料科学研究提供了重要工具。2. 深度穿透能力:由于超声波在材料中的传播速度相对较慢,它可以实现对深层结构的成像,对于研究厚度较大的样品非常有价值。3. 非侵入性:单探头超声波扫描显微镜不需...
2023 - 09 - 21
在现代医学和工程领域,超声扫描检测作为一种常用的无损检测技术,在诊断和检测中起着重要作用。然而,人们普遍关注一个问题,超声扫描检测有辐射吗?一、超声扫描检测的辐射问题超声扫描检测是一种利用声波来成像和检测材料或人体内部结构的技术。与其他成像技术如X射线或放射性同位素扫描相比,超声扫描检测不涉及电离辐射,因此不会产生离子化的粒子或能量,也就意味着不会产生电离辐射的风险。二、超声扫描检测的安全性特点超声扫描检测具有辐射安全性的优势。其工作原理是通过发送和接收声波信号,从而生成图像。超声波属于机械波,其能量远低于电磁波,因此对人体和环境没有电离的影响。这使得超声扫描检测在医学诊断、工业检测和材料分析等领域中被广泛应用。三、应用领域1、医学诊断:在医学领域,超声扫描检测常用于产前检查、器官成像和疾病诊断。其安全性使得它成为孕妇和婴儿等特殊人群的检测方法,无需担心辐射的副作用。2、工业和材料检测:在...
2023 - 09 - 20
作为一种重要的医疗设备,眼科超声显微镜由超声发射器、接收器、控制系统和显示器等组成,用于对眼部结构进行非侵入性的检查和诊断。超声发射器会发出高频的声波,这些声波穿过眼球并与眼部组织相互作用,然后被接收器接收回来。接收到的信号会经过处理和转换,然后在显示器上形成图像,以帮助眼科医生评估眼球、视网膜和其他眼部组织的状况。一、眼球检查眼科超声波显微镜可以提供关于眼球内部结构的详细信息。它能够评估眼球的形状、大小、位置以及眼内液体的分布情况,帮助医生诊断和治疗眼球相关的疾病,如眼压异常、眼外伤等。二、视网膜检查可以对视网膜进行检查,帮助医生确定视网膜脱落、黄斑变性、视网膜裂孔等问题。通过超声图像,医生可以观察到视网膜的层次结构和异常变化。三、眼部肿瘤检测可用于检测和评估眼部肿瘤的性质和范围。它可以帮助医生确定肿瘤的位置、大小、形状和生长方式,为手术治疗提供重要的参考。四、眼前节检查可以检查和评估眼...
2023 - 09 - 19
随着科技的不断进步,显微镜技术也在不断创新与发展。其中,SAT超声波扫描显微镜作为一种先进的显微镜技术,在材料研究、生命科学和纳米技术等领域中得到了广泛的应用。1、介绍与特点SAT超声波扫描显微镜是一种基于声波的成像技术。与传统的光学显微镜不同,SAT显微镜利用声波的传播和反射来获取样品的内部结构信息。其特点在于可以实现对材料的三维成像,不仅提供表面信息,还可以深入样品内部,揭示其微观结构和性质。2、原理:声波的传播与反射SAT超声波扫描显微镜的工作原理是利用声波在材料内部的传播和反射。通过发送声波信号,SAT系统能够捕捉到声波在样品内部传播时的反射信号。通过分析这些反射信号,可以重建出样品的内部结构,并生成三维图像。这种原理使得SAT显微镜能够在非侵入性的情况下实现高分辨率的样品成像。3、应用领域:材料研究与分析SAT超声波扫描显微镜在材料研究领域中具有重要的应用。它可以用于分析材料的结...
上海市黄兴路1728号东方蓝海国际广场2号楼1906室 北京市崇文门外大街5-3新世界太华公寓B座1115室 深圳市福田区华强北路1050号现代之窗B座20P 成都市锦里东路5号国嘉华庭A-29-1 湖北省武汉市东湖高新区光谷总部国际1号楼1栋1304 香港湾仔菲林明道8号大同大厦1504室
Copyright ©2017 - 2019 科视达
犀牛云提供云计算服务
科视达(中国)有限公司
科视达(上海)国际贸易有限公司
上海总部:( 021 ) 6508-7716  (021)6508-3319
北京分部:  ( 010 ) 6708-0981
深圳分部:  ( 0755 ) 8379-0503 ( 0755 ) 8272-4458
成都分部:  ( 028 ) 8613-2728
武汉分部:  177 4975 1126
香港分部:  ( 00852 ) 2854-3911
扫一扫
浏览手机云网站吧