全国咨询热线:021 6508 7716 全国热线电话:137 0168 5332

新闻资讯

News
News 新闻中心 新闻资讯

晶圆键合检测‍的相关知识

Date: 2023-02-06
Views: 10

很多产品在制造中采用品圆到品圆键合技术,而这类产品的范围还在迅速扩张,这包括晶圆级封装以及多种三维集成应用。品圆本身可能是硅、化合物半导体、蓝宝石、玻璃、石英或其他材料。针对不同应用已经开发了多种晶圆键合方法。晶圆键合操作的封装流程往往既昂贵又耗时,因此对其进行检测是十分重要的,今天我们一块看下晶圆键合检测‍的相关知识。

QQ截图20230108213618.png

1.声学微成像技术

声学微成像技术可用于此类瑕疵的检测。该技术对内部的材料界面非常敏感。红外辐射也可以用于晶圆对的成像,但它仅对大的瑕疵且是红外透明的材料敏感。而另一种方法也就是X射线,对多晶硅界面的检测效果并不理想。在前面所述的例子里,声学微成像技术所用的高频超声波可以对Cu-Cu键合中的铜焊盘进行成像,并识别出铜线间缺陷、Si-Si晶圆对间的未键合区域以及颗粒。

QQ截图20230108213623.png

2.原理

声学微成像系统使用光栅扫描换能器,发射超声脉冲进入键合晶圆对的内部并收集反射回来的回声信号。发射进入晶圆对的脉冲会聚焦在感兴趣的深度,典型地是键合界面的位置。回声信号经转换变成声学数据并用于绘制

用户定义深度范围内的声学图像。这些信息的接受窗口称作门。通过移动对应的门,用户可以从非常窄的不同切片位置采样相关信息,比如可以从键合叠层的上表面、键合界面抑或下表面位置采样。

3.超声波检测

用于晶圆对成像的换能器通常采用230 MHz或更高频率的超高频超声波。回声信号仅仅从材料界面位置产生,而不会从同种材料内虢形成。作为可用信号的脉冲信号反射百分比取决于两种材料间的声学阻抗。如果个晶圆对是由两个直接键合在一起的硅晶圆组成的,则在键合界面位置不存在缺陷或异常的前提下,这两种材料是相同的,在界面位置将不存在反射。这种晶圆对的期望声学图像应是没有任何图案的黑色图像。

由于传感器对剖面形状及时的检测,针对目标形貌不断调整的工艺参数,以及多分区压力可调的研磨头的作用,可以实现比开环史加均匀的铜薄膜研磨过程,达到更稳定的晶圆内薄膜厚度均匀性。此类晶圆键合检测‍逐渐成为控制那些窗口益缩小、复杂性不断增加的特殊关健工艺必不可少的组成部分。

回到顶部
News / Relative News More
2023 - 03 - 31
显微镜是人们用于各种科学研究的重要设备,在早期的时候,显微镜大都是采用光学原理,而随着技术的不断发展,声学扫描显微镜开始出现。这种显微镜是利用声波来观测和分析,可以用于了解各种材料的内部结构和性质。目前来说,声学显微镜已经得到了非常广泛的应用,发挥了巨大的价值,下面就来介绍一下它的各项优势。一、非破坏性检测在材料检测工作中,很多方法都只能对材料表面进行检测,而无法了解到材料内部的结构和性质。如果要对材料内部进行检测,往往需要对材料进行破坏,这种检测方式有着很大的局限性。声学显微镜采用的是非破坏性的检测方式,通过超声波扫描就可以了解到材料内部的结构,方便了人们对于各种材料进行检测分析。二、高分辨率声学扫描显微镜的功能非常丰富,融合了多种探测技术和分析方法,使用者可以灵活的应用这种设备来探测材料的不同性质和结构信息。这种扫描显微镜还有着高分辨率的优势,目前已经实现了亚微米级别的分辨率,这就意味...
2023 - 03 - 30
超声检测是一种无损检测,得到了广泛应用。然而随着医疗技术的不断发展和更新,对于没有经验的用户来说,如何选择合适的超声检测设备可能会感到困惑。市场上的超声的检测设备也越来越多,选择适合自己的设备也变得愈发困难。本文将介绍如何选择超声检测设备。不同的超声检测设备在功能和性能上存在差异。在选择设备之前,需要先确定您需要的功能和性能。图像质量和分辨率是这个设备的指标。更好的图像质量和分辨率可以更准确地了解情况。因此,在选择设备时需要考虑设备的图像质量和分辨率。这一类的设备是一种大型设备,其可靠性和耐用性对于医院和医生而言都是非常重要的。在选择设备时,需要了解设备的可靠性和耐用性,并选择那些质量和性能更为可靠的设备。声检测设备的便携性、易用性也是非常重要的因素。便携性强的设备可以方便进行移动检查,易用性好的设备则可以减少操作错误和风险。技术的不断发展,这样的检测设备的功能和性能也在不断更新和扩展。因...
2023 - 03 - 29
随着科技的不断进步和人类对于微观世界的深入探索,现代显微技术已经成为各个领域的必备工具。其中,超声波扫描显微镜(Scanning Acoustic Microscopy,SAM)成为了一个重要的工具,其独特的物理特性在材料科学、医学、纳米技术等多个领域有着广泛的运用。科视达将带你探讨超声波扫描显微镜的原理、基本结构,以及其在各个领域中的广泛运用。扫描显微镜采用了声波的特性对样品进行定量的探测、表征和成像。具体说,它利用渐进波束聚焦和特定的图像处理技术来生成和放大显微图像。这些声波可以穿过材料,反射和折射,从而提供有关样品内部结构和力学性质的信息。因为声波可以穿透样品,所以它比传统显微技术可以获得更深入、更全面的样品信息。超声波显微镜的基本结构包括:多元聚焦超声线阵、机械帮助扫描平台以及电子控制系统。多元聚焦超声线阵的作用是产生可调制的渐进波束,从而使聚焦扫描条走动,实现显微检测。机械帮助扫...
2023 - 03 - 28
超声检测,是五种常规无损检测方法的一种。超声波检测仪作为其使用频率高且发展较快的一种无损检测技术之中地重要仪器,它可应用于生产中的质量控制、原材料检验、工艺改进等。超声检测原理,本质上是利用超声波与物质的相互作用:反射、折射和衍射。超声波是什么?我们将能够产生声音的机械波叫做“声波”,大约20-20000赫兹,超过20000赫兹的就叫做“超声波”。在对钢铁和其他金属进行探伤时,通常采用0.5-10兆赫的超声。那么怎样产生并接受超音波?超声波探针的核心部件是具有压电性的晶圆,该晶圆在施加交流拉伸和压力时,会在晶圆表面形成交流电场。利用高频电流对压电材料进行激发,产生逆压电效应,将能量转化为声能,从而使探针产生周期性的超声,即脉动波。在接收到超声信号的同时,通过正压电作用将声能转化为电能。用于超声检测的传统探头,通常包括压电晶片、阻尼块、接头、电缆线、保护膜和外壳,通常可分为直探头和斜探头,对...
上海市黄兴路1728号东方蓝海国际广场2号楼1906室 北京市崇文门外大街5-3新世界太华公寓B座1115室 深圳市福田区华强北路1050号现代之窗B座20P 成都市锦里东路5号国嘉华庭A-29-1 湖北省武汉市东湖高新区光谷总部国际1号楼1栋1304 香港湾仔菲林明道8号大同大厦1504室
Copyright ©2017 - 2019 科视达
犀牛云提供云计算服务
科视达(中国)有限公司
科视达(上海)国际贸易有限公司
上海总部:( 021 ) 6508-7716  (021)6508-3319
北京分部:  ( 010 ) 6708-0981
深圳分部:  ( 0755 ) 8379-0503 ( 0755 ) 8272-4458
成都分部:  ( 028 ) 8613-2728
武汉分部:  177 4975 1126
香港分部:  ( 00852 ) 2854-3911
扫一扫
浏览手机云网站吧