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国内MEMS科研单位特色小结

Date: 2018-06-05
Views: 404

MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

研究机构  
东南大学MEMS重点实验室研究重点在不太耗资金,但是前景不错的MEMS CAD 

北京大学微电子研究院MEMS研究所国内最早提供MEMS代工,有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向 

西北工业大学微纳米系统实验室面向国防建设,致力于航空航天机载设备、武器的微型化,集成化、信息化;结合西部大开发,促进高新技术产业化。产、学、研相结合,开展微/纳米系统及其相关技术的研究。

清华大学室微电子学研究所微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统,研究范围是:新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向:新型微电子器件与系统,纳电子学。


哈工大在MEMS传感器结构设计以及传感器接口电路方面有较长时间的积累。

中科院上海微系统研究所基本实现了微型惯性器件MEMS工艺小批量制造能力,实现了4英寸硅片上的高g传感器批量制造,开展了两维和三维高g传感器的研发和具有电自测功能的传感器中电集团十三所国家863计划MEMS专项基地,加速度传感器、陀螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、振动传感器、流量传感器、光开关、光衰减器、光反射镜、RF开关、微波移相器、微波带通滤波器 



中电集团二十四所也是模拟IC生产经验+MEMS工艺开发经验,擅长MEMS与电路的集成   中电集团四十九所已经掌握了如产品的批生产质量控制技术和批生产成本控制等MEMS产业化技术,拥有自主知识产权 。

中电集团五十五所擅长RF MEMS和声表面波器件 。


上海交通大学微纳科学技术研究院非硅MEMS加工 。



中北大学微米纳米研究中心MEMS器件及系统,包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造 。



大连理工大学微系统研究中心微机密齿轮制造、微操作与微装配平台研究以及mems工艺开发等。


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2018 - 12 - 15
由于超声波检测仪具有十分精确的检测效果,所以现在很多生产企业都会从采购优质超声波检测仪来对产品做检测,但是,有时候工作人员会发现检测的结果并没有达到预期的标准,那么,是什么原因导致的呢?下面就由超声波检测仪厂家来介绍哪些原因会影响检测的结果。1、频率选择的不正确超声波检测仪可以发出的超声波频率是有一个范围的,如果选择的频率不正确那就会影响产品检测的效果。因为频率的高低会导致产品接受到的超声波信息量过多或不足,再反馈的时候,超声波检测仪接收的反馈声波信息就会有一定程度的失真。2、功率选择的不合适超声波检测仪的功率对检测效果也有着非常重要的影响,因为功率会影响超声波检测仪中传感器的激励脉冲以及接收状况,如果使用了不合理的功率就会导致对产品的检测达不到预期目标,所以,在检测之前应该先根据实际的检测修来调整合适的超声波功率以便达到好的检测效果。3、产品的表面过于粗糙在使用超声波检测仪做检测的时候,...
2018 - 12 - 06
超声波扫描显微镜是在显微镜的基础上进行技术的创新和产品的升级,其融入了超声波技术对扫描显微镜的清晰度和探索度都有帮助,超声波技术也属于科技领域较为高级的科技,那么购买者在使用超声波扫描显微镜时需要了解的注意事项有哪些?一、注意在使用超声波显微镜时不要携带金属制品由于超声波扫描显微镜是使用超声波技术进行物品的观察记录,而超声波与金属制品会产生物理反应导致一些不安全的事件发生。因此各位使用者在对扫描显微镜进行操作时可以先检查自身,注意细小的零件设备例如手表项链等容易被忽略的生活用品。二、注意在使用时应该穿戴好专业的设备衣物关于超声波扫描显微镜哪家比较专业这个话题的讨论可以通过许多细节得出答案,专业生产超声波扫描显微镜的品牌肯定明白应该如何使用显微镜,因此购买者只需查看该品牌是否在使用时穿戴好专业的设备服装,并且是否拥有专业的团队提供协助就能够明白该品牌的专业度。三、注意使用时的观察样品应该摆放...
2018 - 12 - 06
各位购买者对于超声波扫描显微镜哪家比较专业这个问题相当的苦恼和好奇,而超声波扫描显微镜这一在科技领域获得重大机械突破的创作,也受到了许多微观爱好者对于更高清晰度分辨度的追捧和喜爱,那么对于不了解显微镜的购买者来说选择超声波扫描显微镜的好处有哪些?一、能够更加清晰的了解观察样品超声波扫描显微镜相比于光学显微镜拥有着更高的分辨率和清晰度,在观察同一物品时使用超声波显微镜能够比光学显微镜的观察度更高,也能够保证所观察物品的细节和微小分子能够被购买者捕捉,相比光学显微镜在清晰度方面的比拼超声波显微镜显然更胜一筹。二、能够观测到普通显微镜无法突破的微小物质超声波扫描显微镜拥有着更高的扫描频率和分辨率,由于光学显微镜的观察样品是有着尺寸范围的,小于纳米范围及其以下的观察对象光学显微镜是无法捕捉和放大的,而使用超声波显微镜就能够较为轻松的解决观察对象尺寸过于微小的难题。三、观察样品的制作过程也更加方便快...
2018 - 11 - 28
c-sam超声波检测是指利用超声波显微镜进行专业检测,许多人将超声波检测与其他同类检测相混淆,此种检测是根据不同密度材料的反射速率进行深度分析,所以它的分析精度高且错误率低,而C-SAM的传输信号即为超声波,众所周知超声波的抑制界面较少而且穿透率较高,那么C-SAM检测具有哪些优势呢?一、限制性较小小编注意到目前应用C-SAM检测的领域涵盖了塑料封装IC以及各种晶片和pcb行业、LED生产行业,可知对C-SAM检测的限制较小,尤其检测裂纹缺陷以及空洞分层或者金属基板的各种问题时采用C-SAM检测要明显优于同类检测,应用范围广且对行业限制小是C-SAM检测的重要优势。二、测试简单传统同类设备测试中效率有待提高,而使用C-SAM检测的测试步骤则大大简化,确认样品类型后仅需选择相应的频率探头,再将其放置测量装置当中让C-SAM检测工具正常开机并顺利进入扫描模式,即可对图像进行深度扫描,自动化缺陷...
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