C-SAM，全称为超声波扫描显微镜，或超声波显微镜。半导体业界通常都直接简称为SAT，主要应用到半导体器件的后封装检测当中。在其正式运用到半导体工业之前，超声波扫描显微镜主要用于生物学和医学研究，但随着时代的推进，科学家们发现，这类显微镜在检测元器件内部缺陷时，也表现出了令人惊艳的能力。不过这类造价高昂的设备，在使用时也是有许多注意事项的。
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1、请勿触碰显微镜机器的内部电子元件，以免损坏；
2、操作时请勿将手放置在显微镜机器上；
3、请勿用力拉动显微镜控制台；
4、使用显微镜时，请确保室内温度和湿度适宜；
5、操作结束后，请关闭电源，将显微镜机器放回原处；
6、使用前应检查显微镜机器的安全性；
7、显微镜操作人员应接受相关安全培训，并承担任何潜在的风险；
8、显微镜机器应定期维护和检查，以保证正常运行；
除此之外，C-SAM也有着一套较为严谨的操作流程：
1、正确安装超声波扫描显微镜，将鼠标和控制台连接到超声波扫描显微镜上；
2、打开超声波扫描显微镜，选择所需的观察模式，调节放大倍率；
3、用液体填充滤片，然后将滤片插入显微镜小玻片架；
4、调整聚焦轮，使液层平整，然后调整聚光轮，聚合观察样品；
5、选择扫描模式，将滤片放置于扫描区域，拖动鼠标控制台，以控制扫描位置；
6、调整扫描时间，扫描完成后记录显微镜扫描结果；
7、拆卸滤片，将滤片放回原处，清洁显微镜，关闭显微镜机器；
C-SAM作为一种跨界幅度较大的检测类设备，使用的细节和注意事项就是以上这些，但因为品牌以及产品型号有所差异，因此具体的情况还是要以说明书标注的为准，但只要大方向没有问题，基本上数据就不会有太大的偏差，放心操作检测即可。