在看到C-SAM这个英文简称的时候,很多人都不知道是什么意思,其实它就是超声波显微镜的英文缩写,目前这种设备广泛用于检测工作中,它的基本原理就是通过传输超声波信号来检测各种介质的状态和密度,根据接收到的发射回波来判断被检测的材料是否存在缺陷,比如材料内部的裂纹,气孔以及脱层等,其用途是相当广泛的。
一、用于材料科学检测
在工业生产领域,不管是那种产品的生产都会出现一定的不良率,有些不良品的缺陷是比较明显的,常规检测方式就可以找到问题所在。但是面对一些无法从表面看出问题的不良品时,则需要用到C-SAM进行检测,这种超声波技术可以快速的检测出产品内部一些细微的瑕疵问题,而且属于无损检测,不会给产品造成二次的损伤。
二、用于半导体行业检测
半导体行业有着较高的科技含量,其生产工艺是非常复杂的,通常来说,在一个成品上就集成了大量的半导体零件,通过常规手段根本无法对这些数量庞大的零部件进行检测,毕竟在出现不良品的时候往往只有少数几个零部件出现问题,排查工作非常困难。采用C-SAM进行扫描检测,这样就简单高效得多,可以准确的找出有问题的零件。
三、用于晶圆键合缺陷检测
这种超声波扫描仪还常见于晶圆键合缺陷检测,在该领域发挥的作用也很大,这些晶圆制作过程中涉及到了复杂的工艺流程,而在每一个环节上都是可能出现问题的,比如化学气相沉淀,化学机械研磨等,要想找出这些工艺上造成的产品缺陷,使用超声波扫描仪就是非常好的选择。
综上所述,C-SAM的用途是很广泛的,它不仅能够快速的将各种材料缺陷给检测出来,且属于无损检测,能够更好的保障产品的质量。