半导体电子行业往往存在元器件失效的问题,电子元器件小而精细,检测难度非常大,而且还要保证元器件不能受损,这也是不少元器件企业苦恼的问题之一。超声波扫描显微镜——即C-SAM解决了这一问题,利用超声波为传播媒介,对电子元器件进行无损检测。
C-SAM,超声波扫描显微镜的使用原理是通过向被检测物体发射高频超声波传递到元器件内部,不同材质的检测物体声阻抗是不同的,这就会导致超声波扫描显微镜在经过两种不同材质之间的界面时,发出不同的声波。采集的反射或者穿透的超声波能量信息的变化来反应工件内部图像。来检查样品内部出现的分层、裂缝或者空洞等缺陷。
材料内部缺陷有大有小,目前工业探伤所能发现的缺陷尺寸在500微米左右,要想观察到更为细小的缺陷,只能通过破坏的方法做金相或者超声波扫描显微镜,仅仅能观察到特定的表面缺陷情况,无法识别出样品中整个体积内的缺陷。同时常规超声由于分辨率的原因还存在对较薄材料难于检测的缺点。
科视达超声波扫描显微镜可以实现以下功能,如材料内部分层及夹杂物有缺陷、材料内部出现裂纹、材料内部存在气孔、空洞或者间隙等、材料内部存在杂质颗粒、夹杂物或者沉淀物、材料的密度及晶格等情况。可实现工件分层扫描,准确确定缺陷所在位置(三维位置)。高精度重复定位精度,缺陷波形可以重复出现。
我国检测仪器的不断更新迭代也表示着我国各行各业不断发展的现状,超声波显微镜的重要性不言而喻,无论是在半导体电子行业,还是在新能源汽车行业等其他需要该设备进行无损检测的行业。科视达为传统的精细结构观察带来来全新的方法,得到了行业极高的评价,获得了大量客户的认可。