C-SAM全称C-mode Scanning Acoustic Microscope，指超声波显微镜。因为利用纯水当介质传输超声波信号时，超声波能在非拆除状态下检测到不同物质不同状态下的不同密度，返回不同的反射回波，从而知道材料内部的缺陷（例如脱层、气孔、缝隙等）并依所接收的信号变化将之成像。这使得超声波显微镜可以用于材料科学、半导体行业、生物学、晶圆键合缺陷检测等领域，给传统的精细结构观察带来了全新的无损检测方法。下面介绍下其各个行业的具体应用：
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1. 材料科学检测：例如当工业产品遇到未知原因的残品时，超声波显微镜可以尽快有效且无损地找到其内部的气孔、缝隙等瑕疵。
2. 半导体行业检测：半导体的成品由于工艺复杂，一个成品上有许多半导体零件，而只要有其中一个或几个零件有损坏，就不能合格。想知道是哪个零件的问题，就选要用超声波显微镜观察，这样就只需要更换坏了的零件即可，不用全部返工。
3. 生物学检测：医院的超声波检测等。
4. 晶圆键合缺陷检测：在半导体晶圆制作中，拉单晶、切片、磨片、抛光、增层、光刻、掺杂、热处理、针测以及划片……一系列过程中，化学气相沉淀、光学显影、化学机械研磨都是这一过程中可能使晶圆表面产生缺陷。这些缺陷往往都可以通过超声波显微镜检测出来。
这样看来，C-SAM超声波显微镜检测，确实应用广泛而且能在无损地检测出物质的缺陷问题，在很多行业都有着重要作用。如果您也在相关行业有检测需求，欢迎联系我们。我们作为德国超声波扫描显微镜 ( SAM /SAT ) 之中国区代理，在本行业拥有着先进的科学技术和踏实的科学素养，能为您的行业质量保驾护航。