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扫描显微镜的主要用途

Date: 2022-09-19
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扫描显微镜是一款材料分析工具,主打陶瓷材料以及金属材料领域的分析,被广泛应用于地质石油、矿物材质、半导体电子、化工分子材料研究、生物医学以及工农等行业。今天就为大家介绍一下扫描显微镜的主要用途,看看它在各行各业是如何发挥自身作用的。

扫描显微镜的主要用途1.jpg

扫描电子显微镜是由7大系统合同协作组成的,包含电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统以及电源供给系统。扫描电镜具备放大可调程度宽、图像分辨率高、景像保真度高、三维效应真实等优势,检测的导电材料能直接放入样品室进行分析,而导电性差或绝缘的样品就还要喷镀导电层。扫描显微镜的主要用途归纳如下:

一、扫描显微镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像-形貌分析,包含表面几何形态,形状,尺寸。

二、显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定-化学成分像分布,微区化学成分分析。

三、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式),晶体取向分布分析,基于晶体结构的相鉴定。

四、扫描电子显微镜在半导体器件研究中还有以下几点的特殊应用。

1、利用电子束感生电流进行成像,可以用来进行集成电路中的定位和损伤研究。2、利用样品电流成像,结果可显示电路中金属层的开、短路,因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

3、利用二次电子电位反差像,反映了样品表面的电位,从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况,特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

扫描显微镜的主要用途2.jpg

从上述的用途功能总结,不难看出在科技助力产业的今天,扫描显微镜诚然已经逐渐陈伟现代科技检测技术中很重要的一款工具,它能有效提升检测的结果精度、内容和检测速度,样本的范围可以从数纳米到数微米,为产业数据提供保障。

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2022 - 09 - 19
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2022 - 09 - 08
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