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国内MEMS科研单位特色小结

Date: 2018-06-05
Views: 784

MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

研究机构  
东南大学MEMS重点实验室研究重点在不太耗资金,但是前景不错的MEMS CAD 

北京大学微电子研究院MEMS研究所国内最早提供MEMS代工,有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向 

西北工业大学微纳米系统实验室面向国防建设,致力于航空航天机载设备、武器的微型化,集成化、信息化;结合西部大开发,促进高新技术产业化。产、学、研相结合,开展微/纳米系统及其相关技术的研究。

清华大学室微电子学研究所微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统,研究范围是:新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向:新型微电子器件与系统,纳电子学。


哈工大在MEMS传感器结构设计以及传感器接口电路方面有较长时间的积累。

中科院上海微系统研究所基本实现了微型惯性器件MEMS工艺小批量制造能力,实现了4英寸硅片上的高g传感器批量制造,开展了两维和三维高g传感器的研发和具有电自测功能的传感器中电集团十三所国家863计划MEMS专项基地,加速度传感器、陀螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、振动传感器、流量传感器、光开关、光衰减器、光反射镜、RF开关、微波移相器、微波带通滤波器 



中电集团二十四所也是模拟IC生产经验+MEMS工艺开发经验,擅长MEMS与电路的集成   中电集团四十九所已经掌握了如产品的批生产质量控制技术和批生产成本控制等MEMS产业化技术,拥有自主知识产权 。

中电集团五十五所擅长RF MEMS和声表面波器件 。


上海交通大学微纳科学技术研究院非硅MEMS加工 。



中北大学微米纳米研究中心MEMS器件及系统,包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造 。



大连理工大学微系统研究中心微机密齿轮制造、微操作与微装配平台研究以及mems工艺开发等。


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2022 - 08 - 10
显微镜,尤其是共聚焦显微镜、荧光显微镜和普通光学显微镜,在生命科学领域都有着广泛的应用,超声显微镜‍是显微镜中级别比较高,技术含量也比较高的一款产品,今天小编带大家认识一下超声显微镜‍的几项优点,以便大家更好地认识和使用它。一、移动互联,智能分享采用物联网技术,显微镜自带wifi,通过APP软件支持手机、平板多种移动互联方式,能够通过移动终端实时采集代表病例图片和视频,为医患沟通、学术交流、远程医疗提供依据和技术支持。二、超大景深,全新光学镀膜工艺全新的光学镀膜工艺和复消色差光学结构改善光学品质,增强镜下观察的舒适度和加强景深,形成清晰的三维空间立体像,尤其在高倍率下的镜下观察。三、出色的图像质量以较高的分辨率和对比度来可视化精子头部等微小结构。出色的反差观察方法 以及各种高质量物镜,让微小结构纤毫毕现。四、是研究细胞生物的重要工具显微成像是细胞生物学中一个非常重要的工具,它让您能够在样本...
2022 - 08 - 09
众所周知,显微镜早已成为科学研究和实验教学中不可缺少的重要仪器。在科学研究中缺乏显微镜,科研教学工作就无法进行;如果是实验教学中不使用超声显微镜,就会很难激发其起学生的学习乐趣,那么大家知道怎样对超声显微镜进行维护和保养吗?一、灯光不亮或亮度不变化电光生物显微镜在使用时常发生光源的故障。遇到这种情况, 首先检查保险丝是否损坏, 如损坏则更换, 其次检查灯泡 是否损坏, 如灯泡损坏, 须更换灯泡。假如灯泡没有问题, 灯光仍然不亮的话, 就要细心检查灯座电路接触是否良好, 如灯座电路接触不良, 应及时维修。二、转换器过松或过紧出现这种情况应当先将中心螺丝松开, 再调整球型螺母或反扣轴挡, 合适后再拧紧中心螺丝。三、镜筒或者聚光器自然下滑用两只手分别握紧粗调节轮, 反方向旋转, 或者抽出镜筒, 用螺丝刀将固定滑调的螺钉拧紧。在出现聚光器自然下滑的情况时应当把聚光器紧固螺丝松开, 让聚光器进入中心...
2020 - 11 - 17
新闻发布2020年11月12日,德国韦滕贝格拓宽和强化超声波检测系统的应用范围PVA TePla AG © 2020▲ PVA TePlaPVA TePla AG 集团于2020年11月12日宣布,将收购位于美国弗吉尼亚州马纳萨斯(Manassas, Virginia)的Okos Solutions有限责任公司。Okos Solutions 是行业领先的超声波检测设备生产制造商,该公司研发和制造的测量仪器可以应用于工业(如航空航天,金刚石工具等)和半导体行业高科技材料的质量检测。通过此次收购,PVA TePla集团的超声波设备进入美国市场的能力将显著增强。▲ OKOS已经在全球半导体市场占据了稳固、领先地位的PVA TePla 分析系统公司(PVA TePla AS)超声波检测系统,可借此实现增强销售渠道、提高客户服务质量之目标,并扩大其在美国的市场份额。同时,PVA TePla...
2018 - 11 - 21
超声扫描显微镜是一种新一代的超声检测设备,能够对很多半导体材料的细微缺陷进行精确的检测,其工作原理通过不同的材料对声波的阻抗不同,对超声波的吸收和反射程度不同,从而得到一些微观层面的检测结果,超声扫描显微镜买什么牌子好不重要而重要的是其检测能力。下面就来详细介绍一下超声扫描显微镜能够检测材料的哪些缺陷。一、杂质颗粒缺陷检测很多半导体设备由于其工艺技术较为复杂,生产技术较为特殊,因此生产出的产品往往其内部会出现一些颗粒杂质,目前行业内对这些颗粒杂质都有着较为严格的标准,超出一定范围的颗粒杂质基本上可以判断该半导体产品的质量出现了较大问题,而超声扫描显微镜能够精确地检测出产品中颗粒杂质的数量和范围,对产品的质量带来了良好的保障。二、内部裂纹缺陷检测在一些做工精密的电器元件器或者半导体产品中,内部裂纹是经常出现的一种产品质量问题。超声扫描显微镜能够通过超声波的阻抗来对产品内部的细微裂纹进行检测,...
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