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国内MEMS科研单位特色小结

Date: 2018-06-05
Views: 799

MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

研究机构  
东南大学MEMS重点实验室研究重点在不太耗资金,但是前景不错的MEMS CAD 

北京大学微电子研究院MEMS研究所国内最早提供MEMS代工,有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向 

西北工业大学微纳米系统实验室面向国防建设,致力于航空航天机载设备、武器的微型化,集成化、信息化;结合西部大开发,促进高新技术产业化。产、学、研相结合,开展微/纳米系统及其相关技术的研究。

清华大学室微电子学研究所微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统,研究范围是:新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向:新型微电子器件与系统,纳电子学。


哈工大在MEMS传感器结构设计以及传感器接口电路方面有较长时间的积累。

中科院上海微系统研究所基本实现了微型惯性器件MEMS工艺小批量制造能力,实现了4英寸硅片上的高g传感器批量制造,开展了两维和三维高g传感器的研发和具有电自测功能的传感器中电集团十三所国家863计划MEMS专项基地,加速度传感器、陀螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、振动传感器、流量传感器、光开关、光衰减器、光反射镜、RF开关、微波移相器、微波带通滤波器 



中电集团二十四所也是模拟IC生产经验+MEMS工艺开发经验,擅长MEMS与电路的集成   中电集团四十九所已经掌握了如产品的批生产质量控制技术和批生产成本控制等MEMS产业化技术,拥有自主知识产权 。

中电集团五十五所擅长RF MEMS和声表面波器件 。


上海交通大学微纳科学技术研究院非硅MEMS加工 。



中北大学微米纳米研究中心MEMS器件及系统,包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造 。



大连理工大学微系统研究中心微机密齿轮制造、微操作与微装配平台研究以及mems工艺开发等。


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2022 - 12 - 05
随着社会经济不断的发展,对检测设备的要求诚然是越来越高,检测设备唯有提供更加高效,更加准确,更加具有个性化的服务,才能够满足于现代化检测的需求,而晶圆键合检测是行业中非常重要的质量管控手段,那么晶圆键合检测设备哪个品牌更好一些呢?要想选择更加优秀的晶圆键合缺陷检测设备,那么需要对于多个品牌的晶圆键合检测进行对比,实现优中选优。在选择上,需要对比以下几个方面。对比不同品牌的晶圆键合缺陷检测设备的性能情况,唯有满足于客户需求,那么这样的晶圆才具有使用价值,因此对客户来讲在选择晶圆键合缺陷检测的时候,一定要优先分析不同的品牌所提供的晶圆键合缺陷检测设备,其作用是什么,强化对晶圆键合缺陷检测性能的实验与测算等,通过对不同品牌晶圆键合检测设备进行全方面分析,从而选择更有序品牌,能否满足于客户的需求。这样才能够确保晶圆键合缺陷检测设备具有购买的价值。对采购者来讲,如果实在不了解各个品牌的晶圆键合缺陷检...
2022 - 11 - 30
超声检测设备指的是超声波显微镜,主要用于检测X-RAY不能分辨的物理性缺陷,通常用于半导体领域、生物学、晶圆键合缺陷等检测。它具有无损检测的特点,其主要是通过反射或者透射的方式进行扫描,比如可以对晶圆,半导体等样品可能存在的裂缝,空洞等问题进行检测,能够非常直观地将缺陷检测出来。下面总结下几点优势:一、功能性强目前市面上的检测设备种类是比较多的,而与一般的检测设备相比,采用超声检测的设备在功能性上要强得多,例如X-RAY不能分辨的物理缺陷,它也可以测量发现缺陷问题,对于企业研发一些高精产品时,起到了关键作用。二、无损检测无需拆解产品就可以检测出产品内部的漏洞和问题,减少不必要的损失。三、图像直观显示在超声扫描显微镜中,有大屏的显示器,在进行扫描的过程中,各种细节都不会放过,并且可以将数据用图像直观地呈现出来。四、工作效率高超声波显微镜可以实现自动定位测量,无需繁琐的人工操作,充分实现智能化...
2022 - 11 - 29
C-SAM全称C-mode Scanning Acoustic Microscope,指超声波显微镜。因为利用纯水当介质传输超声波信号时,超声波能在非拆除状态下检测到不同物质不同状态下的不同密度,返回不同的反射回波,从而知道材料内部的缺陷(例如脱层、气孔、缝隙等)并依所接收的信号变化将之成像。这使得超声波显微镜可以用于材料科学、半导体行业、生物学、晶圆键合缺陷检测等领域,给传统的精细结构观察带来了全新的无损检测方法。下面介绍下其各个行业的具体应用:1. 材料科学检测:例如当工业产品遇到未知原因的残品时,超声波显微镜可以尽快有效且无损地找到其内部的气孔、缝隙等瑕疵。2. 半导体行业检测:半导体的成品由于工艺复杂,一个成品上有许多半导体零件,而只要有其中一个或几个零件有损坏,就不能合格。想知道是哪个零件的问题,就选要用超声波显微镜观察,这样就只需要更换坏了的零件即可,不用全部返工。3. 生物学...
2022 - 11 - 25
不管人的视力有多好,有些东西都是无法用肉眼去观察检测的,需要借助专门的一些设备用于放大显示,才可以发现问题所在,而这就是德国PVA显微镜的作用。使用这种设备可以放大观察一些细小的零件等等,看有无明显的问题所在,从而才可以更好的进行改善与实验。那么,对于想要采购这种设备使用,需要注意到哪几点要素呢?一、设备本身的检测功能想要采购德国PVA显微镜使用,那么对于设备本身的性能就是一个重要的挑选要素,若是检测功能无法达到使用要求,那么则就没有购买的必要性。对于设备的检测功能,可以查看其检测的精度以及灵敏对如何,这两方面都是可以大概判断出设备使用性能是否过关的一个重要依据。二、显微镜的定价不管是购买什么贵重物品,很多人都习惯进行价格对比,这点是常规操作,也是正确的步骤之一。设备的高性价比是很多人追求的目的之一,因而通过价格挑选设备,反而是一个比较有效率的途径之一。不过需要注意的是,挑选参考PVA显微...
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