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国内MEMS科研单位特色小结

Date: 2018-06-05
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MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

研究机构  
东南大学MEMS重点实验室研究重点在不太耗资金,但是前景不错的MEMS CAD 

北京大学微电子研究院MEMS研究所国内最早提供MEMS代工,有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向 

西北工业大学微纳米系统实验室面向国防建设,致力于航空航天机载设备、武器的微型化,集成化、信息化;结合西部大开发,促进高新技术产业化。产、学、研相结合,开展微/纳米系统及其相关技术的研究。

清华大学室微电子学研究所微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统,研究范围是:新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向:新型微电子器件与系统,纳电子学。


哈工大在MEMS传感器结构设计以及传感器接口电路方面有较长时间的积累。

中科院上海微系统研究所基本实现了微型惯性器件MEMS工艺小批量制造能力,实现了4英寸硅片上的高g传感器批量制造,开展了两维和三维高g传感器的研发和具有电自测功能的传感器中电集团十三所国家863计划MEMS专项基地,加速度传感器、陀螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、振动传感器、流量传感器、光开关、光衰减器、光反射镜、RF开关、微波移相器、微波带通滤波器 



中电集团二十四所也是模拟IC生产经验+MEMS工艺开发经验,擅长MEMS与电路的集成   中电集团四十九所已经掌握了如产品的批生产质量控制技术和批生产成本控制等MEMS产业化技术,拥有自主知识产权 。

中电集团五十五所擅长RF MEMS和声表面波器件 。


上海交通大学微纳科学技术研究院非硅MEMS加工 。



中北大学微米纳米研究中心MEMS器件及系统,包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造 。



大连理工大学微系统研究中心微机密齿轮制造、微操作与微装配平台研究以及mems工艺开发等。


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2023 - 03 - 31
显微镜是人们用于各种科学研究的重要设备,在早期的时候,显微镜大都是采用光学原理,而随着技术的不断发展,声学扫描显微镜开始出现。这种显微镜是利用声波来观测和分析,可以用于了解各种材料的内部结构和性质。目前来说,声学显微镜已经得到了非常广泛的应用,发挥了巨大的价值,下面就来介绍一下它的各项优势。一、非破坏性检测在材料检测工作中,很多方法都只能对材料表面进行检测,而无法了解到材料内部的结构和性质。如果要对材料内部进行检测,往往需要对材料进行破坏,这种检测方式有着很大的局限性。声学显微镜采用的是非破坏性的检测方式,通过超声波扫描就可以了解到材料内部的结构,方便了人们对于各种材料进行检测分析。二、高分辨率声学扫描显微镜的功能非常丰富,融合了多种探测技术和分析方法,使用者可以灵活的应用这种设备来探测材料的不同性质和结构信息。这种扫描显微镜还有着高分辨率的优势,目前已经实现了亚微米级别的分辨率,这就意味...
2023 - 03 - 30
超声检测是一种无损检测,得到了广泛应用。然而随着医疗技术的不断发展和更新,对于没有经验的用户来说,如何选择合适的超声检测设备可能会感到困惑。市场上的超声的检测设备也越来越多,选择适合自己的设备也变得愈发困难。本文将介绍如何选择超声检测设备。不同的超声检测设备在功能和性能上存在差异。在选择设备之前,需要先确定您需要的功能和性能。图像质量和分辨率是这个设备的指标。更好的图像质量和分辨率可以更准确地了解情况。因此,在选择设备时需要考虑设备的图像质量和分辨率。这一类的设备是一种大型设备,其可靠性和耐用性对于医院和医生而言都是非常重要的。在选择设备时,需要了解设备的可靠性和耐用性,并选择那些质量和性能更为可靠的设备。声检测设备的便携性、易用性也是非常重要的因素。便携性强的设备可以方便进行移动检查,易用性好的设备则可以减少操作错误和风险。技术的不断发展,这样的检测设备的功能和性能也在不断更新和扩展。因...
2023 - 03 - 29
随着科技的不断进步和人类对于微观世界的深入探索,现代显微技术已经成为各个领域的必备工具。其中,超声波扫描显微镜(Scanning Acoustic Microscopy,SAM)成为了一个重要的工具,其独特的物理特性在材料科学、医学、纳米技术等多个领域有着广泛的运用。科视达将带你探讨超声波扫描显微镜的原理、基本结构,以及其在各个领域中的广泛运用。扫描显微镜采用了声波的特性对样品进行定量的探测、表征和成像。具体说,它利用渐进波束聚焦和特定的图像处理技术来生成和放大显微图像。这些声波可以穿过材料,反射和折射,从而提供有关样品内部结构和力学性质的信息。因为声波可以穿透样品,所以它比传统显微技术可以获得更深入、更全面的样品信息。超声波显微镜的基本结构包括:多元聚焦超声线阵、机械帮助扫描平台以及电子控制系统。多元聚焦超声线阵的作用是产生可调制的渐进波束,从而使聚焦扫描条走动,实现显微检测。机械帮助扫...
2023 - 03 - 28
超声检测,是五种常规无损检测方法的一种。超声波检测仪作为其使用频率高且发展较快的一种无损检测技术之中地重要仪器,它可应用于生产中的质量控制、原材料检验、工艺改进等。超声检测原理,本质上是利用超声波与物质的相互作用:反射、折射和衍射。超声波是什么?我们将能够产生声音的机械波叫做“声波”,大约20-20000赫兹,超过20000赫兹的就叫做“超声波”。在对钢铁和其他金属进行探伤时,通常采用0.5-10兆赫的超声。那么怎样产生并接受超音波?超声波探针的核心部件是具有压电性的晶圆,该晶圆在施加交流拉伸和压力时,会在晶圆表面形成交流电场。利用高频电流对压电材料进行激发,产生逆压电效应,将能量转化为声能,从而使探针产生周期性的超声,即脉动波。在接收到超声信号的同时,通过正压电作用将声能转化为电能。用于超声检测的传统探头,通常包括压电晶片、阻尼块、接头、电缆线、保护膜和外壳,通常可分为直探头和斜探头,对...
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