全国咨询热线:021 6508 7716 全国热线电话:137 0168 5332

新闻资讯

News
News 新闻中心 新闻资讯

国内MEMS科研单位特色小结

Date: 2018-06-05
Views: 786

MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写。MEMS是美国的叫法,在日本被称为微机械,在欧洲被称为微系统,它是指可批量制作的,集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域,从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

研究机构  
东南大学MEMS重点实验室研究重点在不太耗资金,但是前景不错的MEMS CAD 

北京大学微电子研究院MEMS研究所国内最早提供MEMS代工,有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向 

西北工业大学微纳米系统实验室面向国防建设,致力于航空航天机载设备、武器的微型化,集成化、信息化;结合西部大开发,促进高新技术产业化。产、学、研相结合,开展微/纳米系统及其相关技术的研究。

清华大学室微电子学研究所微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统,研究范围是:新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向:新型微电子器件与系统,纳电子学。


哈工大在MEMS传感器结构设计以及传感器接口电路方面有较长时间的积累。

中科院上海微系统研究所基本实现了微型惯性器件MEMS工艺小批量制造能力,实现了4英寸硅片上的高g传感器批量制造,开展了两维和三维高g传感器的研发和具有电自测功能的传感器中电集团十三所国家863计划MEMS专项基地,加速度传感器、陀螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、振动传感器、流量传感器、光开关、光衰减器、光反射镜、RF开关、微波移相器、微波带通滤波器 



中电集团二十四所也是模拟IC生产经验+MEMS工艺开发经验,擅长MEMS与电路的集成   中电集团四十九所已经掌握了如产品的批生产质量控制技术和批生产成本控制等MEMS产业化技术,拥有自主知识产权 。

中电集团五十五所擅长RF MEMS和声表面波器件 。


上海交通大学微纳科学技术研究院非硅MEMS加工 。



中北大学微米纳米研究中心MEMS器件及系统,包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造 。



大连理工大学微系统研究中心微机密齿轮制造、微操作与微装配平台研究以及mems工艺开发等。


回到顶部
News / Relative News More
2022 - 08 - 18
在生产半导体等材料的过程中,对于质量有着非常高的要求,常规的手段无法检测除这些材料存在的问题,而通过超声扫描显微镜则可以把这些材料的细微缺陷给检测出来,提供微观层面的检测结果,对于提升生产品质有着相当大的帮助,下面就来说说它检测的主要问题。一、材料的杂质颗粒缺陷半导体生产工艺复杂,有着很多精细化的要求,在生产过程中比较常见的颗粒杂质问题困扰了很多生产厂家。为使得生产达到对应的质量标准,必须将这种问题检测出来,使用超声扫描则可以很快的检测出这种缺陷,给后续的解决问题带来了很大的帮助。二、材料内部裂纹缺陷超声扫描的显微镜还可以用于各种精密电器元件的检测,这类产品在生产的过程当中,内部出现裂纹后无法通过常规的手段检测出来,但是使用超声扫描技术则可以有效的发现这种内部裂纹缺陷,从而避免了存在缺陷的产品流入到市场当中。三、材料内部分层缺陷很多电子元器件,以及半导体都存在内部分层缺陷,同样的,这种发生...
2022 - 08 - 17
超声扫描显微镜是一种比较常见的检测类设备,它具有无损检测的特点,其主要是通过反射或者透射的方式进行扫描,比如可以对晶圆,以及元器件等样品可能存在的裂缝,空洞等问题进行检测,作用非常的明显,下面就来说说这种显微镜的具体优势。一、功能性强目前市面上的扫描显微镜种类是比较多的,而与一般的扫描显微镜相比,采用超声扫描技术的设备在功能性上要强得多,它可以进行可靠性很高的制程控制,在对失效分析过程中,更有效的控制产品的品质,对于企业研发一些高精产品时,起到了关键性的作用。二、可靠性高在超声扫描显微镜中,采用了很先进的处理器,并且有专用的工控机,还有大屏的显示器,在进行扫描的过程中,可以将数据直观的呈现,各种细节都不会放过,因为这种精细化的扫描检测,带来的结果自然更加可靠,是生产过程中不可或缺的。三、可以自动定位测量这种显微镜在智能化方面也有很大的优势,它可以实现自动定位测量,无需繁琐的人工操作,在完成...
2022 - 08 - 10
显微镜,尤其是共聚焦显微镜、荧光显微镜和普通光学显微镜,在生命科学领域都有着广泛的应用,超声显微镜‍是显微镜中级别比较高,技术含量也比较高的一款产品,今天小编带大家认识一下超声显微镜‍的几项优点,以便大家更好地认识和使用它。一、移动互联,智能分享采用物联网技术,显微镜自带wifi,通过APP软件支持手机、平板多种移动互联方式,能够通过移动终端实时采集代表病例图片和视频,为医患沟通、学术交流、远程医疗提供依据和技术支持。二、超大景深,全新光学镀膜工艺全新的光学镀膜工艺和复消色差光学结构改善光学品质,增强镜下观察的舒适度和加强景深,形成清晰的三维空间立体像,尤其在高倍率下的镜下观察。三、出色的图像质量以较高的分辨率和对比度来可视化精子头部等微小结构。出色的反差观察方法 以及各种高质量物镜,让微小结构纤毫毕现。四、是研究细胞生物的重要工具显微成像是细胞生物学中一个非常重要的工具,它让您能够在样本...
2022 - 08 - 09
众所周知,显微镜早已成为科学研究和实验教学中不可缺少的重要仪器。在科学研究中缺乏显微镜,科研教学工作就无法进行;如果是实验教学中不使用超声显微镜,就会很难激发其起学生的学习乐趣,那么大家知道怎样对超声显微镜进行维护和保养吗?一、灯光不亮或亮度不变化电光生物显微镜在使用时常发生光源的故障。遇到这种情况, 首先检查保险丝是否损坏, 如损坏则更换, 其次检查灯泡 是否损坏, 如灯泡损坏, 须更换灯泡。假如灯泡没有问题, 灯光仍然不亮的话, 就要细心检查灯座电路接触是否良好, 如灯座电路接触不良, 应及时维修。二、转换器过松或过紧出现这种情况应当先将中心螺丝松开, 再调整球型螺母或反扣轴挡, 合适后再拧紧中心螺丝。三、镜筒或者聚光器自然下滑用两只手分别握紧粗调节轮, 反方向旋转, 或者抽出镜筒, 用螺丝刀将固定滑调的螺钉拧紧。在出现聚光器自然下滑的情况时应当把聚光器紧固螺丝松开, 让聚光器进入中心...
上海市黄兴路1728号东方蓝海国际广场2号楼1906室 北京市崇文门外大街5-3新世界太华公寓B座1115室 深圳市福田区华强北路1050号现代之窗B座20P 成都市锦里东路5号国嘉华庭A-29-1 湖北省武汉市东湖高新区光谷总部国际1号楼1栋1304 香港湾仔菲林明道8号大同大厦1504室
Copyright ©2017 - 2019 科视达
犀牛云提供云计算服务
科视达(中国)有限公司
科视达(上海)国际贸易有限公司
上海总部:( 021 ) 6508-7716  (021)6508-3319
北京分部:  ( 010 ) 6708-0981
深圳分部:  ( 0755 ) 8379-0503 ( 0755 ) 8272-4458
成都分部:  ( 028 ) 8613-2728
武汉分部:  177 4975 1126
香港分部:  ( 00852 ) 2854-3911
扫一扫
浏览手机云网站吧