MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。

研究机构　　
东南大学MEMS重点实验室研究重点在不太耗资金，但是前景不错的MEMS CAD 

北京大学微电子研究院MEMS研究所国内最早提供MEMS代工，有RF MEMS、MEMS陀螺、微流控芯片、生物MEMS、NEMS等多个研究方向 

西北工业大学微纳米系统实验室面向国防建设，致力于航空航天机载设备、武器的微型化，集成化、信息化；结合西部大开发，促进高新技术产业化。产、学、研相结合，开展微/纳米系统及其相关技术的研究。

清华大学室微电子学研究所微纳器件与系统研究室主要研究各种新型微纳器件以及由它们构成的系统，研究范围是：新器件与系统、新技术与工艺、新电路与模型、新材料与结构、新概念与原理。目前有两个主要研究方向：新型微电子器件与系统，纳电子学。

哈工大在MEMS传感器结构设计以及传感器接口电路方面有较长时间的积累。

中科院上海微系统研究所基本实现了微型惯性器件MEMS工艺小批量制造能力，实现了4英寸硅片上的高g传感器批量制造，开展了两维和三维高g传感器的研发和具有电自测功能的传感器中电集团十三所国家863计划MEMS专项基地，加速度传感器、陀螺仪、碰撞传感器、倾角传感器、振动传感器、流量传感器、光开关、光衰减器、光反射镜、RF开关、微波移相器、微波带通滤波器 

中电集团二十四所也是模拟IC生产经验+MEMS工艺开发经验，擅长MEMS与电路的集成 　　中电集团四十九所已经掌握了如产品的批生产质量控制技术和批生产成本控制等MEMS产业化技术，拥有自主知识产权 。

中电集团五十五所擅长RF MEMS和声表面波器件 。


上海交通大学微纳科学技术研究院非硅MEMS加工 。

中北大学微米纳米研究中心MEMS器件及系统，包括微惯性器件的设计与仿真、微气体检测传感器设计、加工及制造 。

大连理工大学微系统研究中心微机密齿轮制造、微操作与微装配平台研究以及mems工艺开发等。