部分可选项: 1. 德国PVA专利产品Hibert Filter- 外置滤波器(软件开关控制,用于110MHz 以上延迟性探头使用)2. 各种样品吸盘、夹具定制、半自动化设备升级3 专业图像处理与计算软件(空洞率计算和颗粒度分析,不仅适用于超声波扫描显微镜,同时可用于电镜、光学显微镜、 共聚焦显微镜、 X-Ray 等众多显微检测设备) 七 使用要求;220V,50Hz ,去离子水欢迎您来电咨询,我们会根据您的产品检测需要,为您推荐最合适的机型和配置.设备如软件、硬件升级,相关参数有所变更,请以生产厂家确认为准。
Auto Wafer 300 设备是一款专门应用于晶圆键合在线检测的设备,可以显著提升客户产品的良率与质量。它可以对键合晶圆界面的空洞,杂质和分层等缺陷进行无损检测High Throughput高检测效率对于所有量产工厂而言时间是最宝贵的,因此Auto Wafer 300设备采用了最优化的4自动对焦探头结构和高效的晶圆传输方式。Adaptability高适应性我们的Auto Wafer 300可适用于客户不同的环境与规格需求,可满足Class100净化等级,并可根据客户不同的工艺需求进行特殊的产品定制与系统集成。High Level of Automation and Integration 高度自动化与集成度Auto Wafer 300所有的设计方案都是以最佳性能,高分辨率和高检测效率为目标。l Scanning System 扫描系统扫描机构使用4轴系统,数字线性马达驱动和光学编码器,还使用了惯性平衡装置来有效消除震动,通过震动消除,样品上那种非常狭小而精密的层面可以得以被分辨,设置门限和分析.惯性平衡机构同时也提供了当今市场上最快的图片扫描速度. 高性能高速XY轴线性马达扫描系统.编码器分辨率可达15nm运动控制机构可同时控制X,Y及4个Z轴,同步触发,光学编码器等。l 500MHz带宽高性能脉冲激发装置l 4块集成在工控机内部的数模信号转换卡(ADC卡),采样频率为1.25GSPS,整个系统采用4通道设置,采用数字示波器形式的A扫描波形实时显示及界面捕捉,数据生成,归档,显示当前区域的数据门限信号,多种扫描模式。l Unique Acoustic Auto Focus 特有的自动聚焦功能具有专利保护的自动聚焦功能(专利号DE102006005449A1, acoustic auto focus 20...
( 敬请注意:因超声扫描技术日新月异,以下所列设备最的参数规格仅供参考,并非最新;如您需要设备最新的技术规格表或需要我们定制提供某些硬件配置或软件功能,请您联系对应区域的销售人员)1、 扫描台:第二代High Definition高清晰扫描台;重复精度 0.05umX / Y 轴均为超高性能线性马达(Y 轴为双马达)X / Y 轴具有内置磁力机构,配置仪器设备专用大理石防震台和平衡惯性机构,确保扫描的稳定性在高速扫描过程中可隔绝振动的影响,可避免图像因快速扫描而失真; 2. 前后双探头机构,可前后同时反射扫描,2倍单探头扫描效率; 3. 前后每个探头各自扫描范围:最小:200 x 200 μm 最大:320 x 320 mm 4. 可自动寻找被测样品的中心位置和样品边缘尺寸,自动设定扫描范围 5. 最大扫描速度: 2,000mm/s, X 轴最大加速度:20,000mm/s2 6. 接收发射器DPR 500带宽:500MHz 7. ADC 卡采样频率:5G/秒 8. 支持探头频率:5MHz-400MHz 9. 增益调节窗口:-22dB-50dB, 更多功能高级菜单设置 10. 主要扫描模式:A-扫描、B-扫描、X-扫描 (多层C扫描)、Z-Staple 扫描(在不同的Z高度进行连续的C扫描)、多重门限扫描、T-Scan (透射扫描)、High Quality-高清晰扫描、表面跟踪扫描、Z-Scan实体扫描模式、托盘矩阵扫描、 Z变换扫描、顺序扫描预扫描、自动扫描、空位跳跃扫描、插值扫描、分频扫描,Over Scan等; 11. 图像分辨率最大≥ 42,000 x 42,000 像素, 精度最小0.5um/像素;12. HiSA ...