超声波扫描显微镜 SAM/SAT 检测的主要特性:
l 非破坏性、无损伤检测各种材料、元器件内部缺陷
l 可无损检测各种IC 器件、材料内部缺陷(如裂纹。空气分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等)
l 可分层扫描。多层扫描
l 实时、直观的图像及分析
l 缺陷的测量及百分比的技术-可精确定位内部缺陷大小、面积与所在位置,并予以着色表示可显示材料内部的三维图像
l 该超声波对人体无害
超声波扫描显微镜 SAM/SAT 的主要应用领域 ( 不局限于):
l 半导体电子行业:集成电路IC 封装器件、SMT 贴片器件、LTCC 器件、IGBT 功率
l 器件、LED产品、红外器件、光电传感器、指纹识别芯片、贴片电容、钢铁材料、晶圆键合片、MEMS 等;
l 材料行业:超硬材料 (金刚石复合片,刀具)、复合材料、镀膜、合金材料、超导材料、陶瓷、金属焊接等;
l 生物医学:活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等。